上海的光刻机生产厂商主要包括以下几家公司：

1. 中微半导体设备（上海）有限公司：该公司成立于2008年，专业从事半导体设备研发、生产和销售，其主要产品包括光刻机、湿法处理设备等。

2. 昂纳微电子（上海）有限公司：该公司成立于1999年，同样专业从事半导体设备研发、生产和销售，主要产品包括光刻机、薄膜沉积设备、等离子刻蚀设备等。

3. 上海微电子设备（集团）有限公司：这是中国最早的半导体设备制造企业之一，成立于1988年，主要产品包括光刻机、湿法处理设备、等离子刻蚀设备等。

4. 上海磐石光刻设备有限公司：这是一家新兴的光刻机制造企业，成立于2012年，主要产品包括接触式光刻机、投影式光刻机等。

需要注意的是，这些公司并没有明确标示他们是否属于“上海光刻机集团公司”，因此我们只能推断这可能是上海光刻机集团的部分组成公司。